導(dǎo)語：MEMS非接觸溫度傳感器是一種基于微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù)制造的傳感器，能夠以非接觸的方式測(cè)量目標(biāo)物體的溫度。與傳統(tǒng)的接觸式溫度傳感器相比，MEMS非接觸溫度傳感器具有快速測(cè)量、高精度、小尺寸等優(yōu)勢(shì)。本文將解析MEMS非接觸溫度傳感器的工作原理和應(yīng)用領(lǐng)域。

一、工作原理

1. 紅外熱輻射原理：MEMS非接觸溫度傳感器利用目標(biāo)物體發(fā)射的紅外輻射來測(cè)量其溫度。目標(biāo)物體溫度越高，發(fā)射的紅外輻射能量越大。傳感器通過感測(cè)紅外輻射的強(qiáng)度來反推目標(biāo)物體的溫度。

2. 紅外加熱輻射原理：同時(shí)兼具紅外檢測(cè)和紅外輻射功能的MEMS非接觸溫度傳感器，在測(cè)溫過程中還能夠通過紅外激光瞄準(zhǔn)目標(biāo)對(duì)象，并對(duì)其進(jìn)行加熱，提高溫度測(cè)量的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。

二、應(yīng)用領(lǐng)域

1. 工業(yè)自動(dòng)化：MEMS非接觸溫度傳感器在工業(yè)自動(dòng)化中的應(yīng)用廣泛，可用于高溫爐窯、電子設(shè)備、汽車制造等領(lǐng)域的溫度監(jiān)測(cè)。其快速響應(yīng)、高精度的特點(diǎn)能夠提供有效的控制和保護(hù)功能。

2. 生物醫(yī)療：MEMS非接觸溫度傳感器可應(yīng)用于醫(yī)療設(shè)備中，如體溫計(jì)、熱像儀等。由于其非接觸式測(cè)溫特點(diǎn)，能夠避免傳統(tǒng)接觸式溫度傳感器對(duì)人體皮膚產(chǎn)生不適的情況。

3. 環(huán)境監(jiān)測(cè)：MEMS非接觸溫度傳感器可用于大氣溫度、地表溫度等環(huán)境參數(shù)的監(jiān)測(cè)。其小尺寸、低功耗的特點(diǎn)使其適用于無人機(jī)、地面監(jiān)測(cè)站等多種應(yīng)用場(chǎng)景。

總結(jié)：MEMS非接觸溫度傳感器利用紅外熱輻射原理或紅外加熱輻射原理實(shí)現(xiàn)溫度測(cè)量。在工業(yè)自動(dòng)化、生物醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。其快速響應(yīng)、高精度、小尺寸等優(yōu)勢(shì)使其成為溫度監(jiān)測(cè)領(lǐng)域的重要技術(shù)手段。